隨著鍍膜技術的快速增長,各種類型的真空鍍膜機也開始逐漸出現,但是論起薄膜的均勻性,所有的真空設備鍍制的薄膜的均勻性會受到某些因素影響,因此真空鍍膜對環境是有一定要求的:
加工真空鍍膜工藝襯底(基片)表面的清潔處理很重要?;M入鍍膜室前應均應進行認真的鍍前清潔處理,達到工件去油、去污和脫水的目的。
基片表面污染來自零件在加工、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、機油、拋光膏、油脂、汗漬等物;零件表面在潮濕空氣中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的氣體。真空鍍膜廠家這些污物基本上均可采用去油或化學清洗方法將其去掉。
對經過清洗處理的清潔表面,不能再大氣環境中存放,要用封閉容器或保潔柜貯存,以減小灰塵的沾污。用剛氧化的鋁容器貯存玻璃襯底,可使碳氫化合物蒸汽的吸附減至最小。因為這些容器有限吸附碳氫化合物。對于高度不穩定的、對水蒸氣敏感的表面,一般應貯存在真空干燥箱中。
清除鍍膜室內的灰塵,設置清潔度高的工作間,保持室內高度清潔是鍍膜工藝對環境的基本要求??諝鉂穸却蟮牡貐^,除鍍前要對基片、真空室內各部件認真清洗外,還要進行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內,注意油擴散泵返油,對加熱功率高的擴散泵必須采取擋油措施。